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鏖戰第三回合,英特格控告家登的晶圓傳送盒產品侵害氣體擴散相關專利

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科技產業資訊室 - 君沉吟 發表於 2024年5月22日
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圖、鏖戰第三回合,英特格控告家登的晶圓傳送盒產品侵害氣體擴散相關專利

台灣是全球先進半導體晶片的製造代工重鎮,因此必然成為半導體設備相關專利侵權訴訟的兵家必爭之地。其中美商英特格公司(Entegris)與台商家登精密工業(Gudeng)為爭奪晶圓或光罩載具產品市場,雙方更是在智財法院對戰多次。

如本網站先前相關報導:

1. 晶圓光罩載具美商Entegris勝訴,家登須賠9.78億,英特格於2015年,依據中華民國第 I317967 號發明專利「光罩載具及支撐光罩之方法」發動首波訴訟;於2019年3月,智慧財產法院一審判決家登相關產品構成專利侵權,需賠償相關被控產品於民國98年至107年間銷售額6.5億餘元的1.5倍、即9.78億餘元。
2. 家登光罩盒訴訟演出逆轉勝:從賠償9億多元扭轉將系爭專利無效,於2019年4月,家登公司透過賣地、賣股、借錢、並質押廠房和專利給台積電以自台積電取得約4億元「預付貨款」,家登公司湊足9億7千多萬元資金供擔保,使家登公司在全案定讞前能維持正常營運。於2020年4月29日,智慧財產局針對家登提出的第六件N06專利舉發案作出審定,判定智慧財產法院一審判決家登產品侵權的所有 '967專利相關請求項均被宣告無效。
3. 家登與ENTEGRIS光罩傳送盒專利侵權 達成和解授權,家登於2020年11月18日公告,與英特格就RSP光罩傳送盒及EUV POD等產品專利侵權案件,達成和解授權,雙方簽訂授權協議,解決雙方所有既存之法律訴訟及專利爭議;到此雙方第一回合對戰告一段落。
4. 家登與英特格侵權訴訟再起 家登求償1億元,雙方攻防角色互換,家登於2021年11月向智慧財產及商業法院提起損害賠償等訴訟,主張英特格侵害其所擁有的中華民國第I238804號發明專利「傳送盒之填充裝置改良」,並向英特格求償新臺幣1億元。惟商業法院於2023年6月作出一審判決,認定英特格生產、銷售的晶圓傳送盒產品未侵害家登的I238804號專利權,另外該I238804號專利權也已於2024年3月8日屆滿失效;到此家登發起的第二回合逆襲接近尾聲。

雙方鏖戰第三回合,於2024年5月15日,家登公告:英特格向智慧財產及商業法院提起「侵害專利請求損害賠償及排除侵害訴訟」, 英特格主張家登「300 Diffuser FOUP」前開式晶圓傳送盒,侵害其所擁有的中華民國I830642號發明專利,英特格請求賠償新台幣3000萬元等。

家登官網所示,近期被控產品300 Diffuser FOUP係具有 "氣體擴散片設計,可以加速內部濕度下降","絕佳氣密性與充氣功能可將FOUP內部維持在低濕度的潔淨環境" 的產品功效,但家登官網並未揭露此被控產品內部與氣體擴散相關的具體結構。

 
 
 
 

 中華民國發明I830642號專利範圍 

英特格於2022年10月27日提出相關中華民國專利申請,並引用美國臨時申請案母案的優先權日2021年10月27日;經過15個月審查,於2024年1月21日取得中華民國I830642號發明專利。

以下列出TW '642 獨立項專利範圍及其對應圖示元件說明,專利範圍主要是要保護具有清洗流體分配系統的基板容器,透過氣體分配裝置,可以將清洗氣體流分配至基板容器的內部空間中。
 
TWI830642B
1. 一種基板容器,其包括:
一殼體6,其界定一內部空間 8,該殼體包含一前開口 12、一第一側壁14、一第二側壁 16、一後壁 18及一底壁 22,該底壁包含沿該殼體6之該前開口12在該第一側壁14與該第二側壁16之間延伸之一前邊緣 24A;
一清洗流體分配系統 540,其設置於該殼體 6 上,該清洗流體分配系統 540 經組態以接收一清洗氣體流,
其中該清洗流體分配系統 540 包含:
一入口430A、430B,其經組態以接收該清洗氣體流;及
至少一氣體分配裝置450A、450B, 其用於將該清洗氣體流分配至該內部空間 8 中。
 
15. 一種基板容器,其包括:
一殼體6,其界定一內部空間8,該殼體包含一前開口12、一第一側壁14、一第二側壁16、一後壁18及一底壁22,該底壁包含沿該殼體之該前開口在該第一側壁14與該第二側壁16之間延伸之一前邊緣24A;
一歧管基底560,其設置於該殼體上,該歧管基底具有經組態以接收一清洗氣體流之一入口505;
及至少一擴散器550A、550B,其與該歧管基底連通,以用於將該清洗氣體流分配至該殼體之該內部空間中。
 
 
 



 
中華民國發明I830642號專利家族的外國對應案審查進度

除了已經核准的中華民國TW I830642號專利,該專利家族中還有2件US專利申請案、2件TW專利申請案,與1件WO專利申請案審查中。
 

於此專利家族中,外國對應申請案審查進度:

1. WO2023076286A1申請案,EPO受理局於2023年3月2日發出檢索報告,其中列出評定為會影響申請案新穎性或進步性的X、Y等級前案證據有2件 -- KR20210055483A、US20210280446A1。
 
 
2. US20230128154A1申請案:美國專利審查委員尚未發出任何審查意見,故還沒有US審查委員檢索所得的前案證據可供參考。但另一方面,英特格為善盡申請人義務,提出兩份資訊揭露聲明 (Information Disclosure Statement),分別呈報WO '286 申請案和TW '642申請案審查過程的檢索報告。  

 
其中US20210280446A1是英特格較早提出的申請案,於2021年9月9日公開,略早於TWI830642的優先權日2021年10月27日。該US '446公開案摘要描述:具有進氣口及氣體分配表面的歧管的殼體,氣體分配表面經構形以將淨化氣體分配至基板容器的內部空間中… 等功效。

惟智財局專利審查委員當初審查時,可能並未參考WO '286申請案的2023年檢索報告,也未參考US '154申請案審查紀錄中英特格呈報的先前技術資訊,故智財局專利審查委員似乎沒考慮到此US '446前案。(2066字;圖11)

 



參考資料:
英特格再告侵權索賠3000萬 家登:委請法律顧問處理。聯合新聞網,2024/05/15。


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