鏖戰第三回合，英特格控告家登的晶圓傳送盒產品侵害氣體擴散相關專利

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科技產業資訊室 - 君沉吟發表於 2024年5月22日

圖、鏖戰第三回合，英特格控告家登的晶圓傳送盒產品侵害氣體擴散相關專利

台灣是全球先進半導體晶片的製造代工重鎮，因此必然成為半導體設備相關專利侵權訴訟的兵家必爭之地。其中美商英特格公司(Entegris)與台商家登精密工業(Gudeng)為爭奪晶圓或光罩載具產品市場，雙方更是在智財法院對戰多次。

如本網站先前相關報導：
1. 晶圓光罩載具美商Entegris勝訴，家登須賠9.78億，英特格於2015年，依據中華民國第 I317967 號發明專利「光罩載具及支撐光罩之方法」發動首波訴訟；於2019年3月，智慧財產法院一審判決家登相關產品構成專利侵權，需賠償相關被控產品於民國98年至107年間銷售額6.5億餘元的1.5倍、即9.78億餘元。
2. 家登光罩盒訴訟演出逆轉勝：從賠償9億多元扭轉將系爭專利無效，於2019年4月，家登公司透過賣地、賣股、借錢、並質押廠房和專利給台積電以自台積電取得約4億元「預付貨款」，家登公司湊足9億7千多萬元資金供擔保，使家登公司在全案定讞前能維持正常營運。於2020年4月29日，智慧財產局針對家登提出的第六件N06專利舉發案作出審定，判定智慧財產法院一審判決家登產品侵權的所有 '967專利相關請求項均被宣告無效。
3. 家登與ENTEGRIS光罩傳送盒專利侵權達成和解授權，家登於2020年11月18日公告，與英特格就RSP光罩傳送盒及EUV POD等產品專利侵權案件，達成和解授權，雙方簽訂授權協議，解決雙方所有既存之法律訴訟及專利爭議；到此雙方第一回合對戰告一段落。
4. 家登與英特格侵權訴訟再起家登求償1億元，雙方攻防角色互換，家登於2021年11月向智慧財產及商業法院提起損害賠償等訴訟，主張英特格侵害其所擁有的中華民國第I238804號發明專利「傳送盒之填充裝置改良」，並向英特格求償新臺幣1億元。惟商業法院於2023年6月作出一審判決，認定英特格生產、銷售的晶圓傳送盒產品未侵害家登的I238804號專利權，另外該I238804號專利權也已於2024年3月8日屆滿失效；到此家登發起的第二回合逆襲接近尾聲。

雙方鏖戰第三回合，於2024年5月15日，家登公告：英特格向智慧財產及商業法院提起「侵害專利請求損害賠償及排除侵害訴訟」，英特格主張家登「300 Diffuser FOUP」前開式晶圓傳送盒，侵害其所擁有的中華民國I830642號發明專利，英特格請求賠償新台幣3000萬元等。

如家登官網所示，近期被控產品300 Diffuser FOUP係具有 "氣體擴散片設計，可以加速內部濕度下降"，"絕佳氣密性與充氣功能可將FOUP內部維持在低濕度的潔淨環境" 的產品功效，但家登官網並未揭露此被控產品內部與氣體擴散相關的具體結構。

圖、300 Diffuser FOUP

中華民國發明I830642號專利範圍

英特格於2022年10月27日提出相關中華民國專利申請，並引用美國臨時申請案母案的優先權日2021年10月27日；經過15個月審查，於2024年1月21日取得中華民國I830642號發明專利。

以下列出TW '642 獨立項專利範圍及其對應圖示元件說明，專利範圍主要是要保護具有清洗流體分配系統的基板容器，透過氣體分配裝置，可以將清洗氣體流分配至基板容器的內部空間中。

TWI830642B

1. 一種基板容器，其包括：

一殼體6，其界定一內部空間 8，該殼體包含一前開口 12、一第一側壁14、一第二側壁 16、一後壁 18及一底壁 22，該底壁包含沿該殼體6之該前開口12在該第一側壁14與該第二側壁16之間延伸之一前邊緣 24A；

一清洗流體分配系統 540，其設置於該殼體 6 上，該清洗流體分配系統 540 經組態以接收一清洗氣體流，

其中該清洗流體分配系統 540 包含:
一入口430A、430B，其經組態以接收該清洗氣體流；及

至少一氣體分配裝置450A、450B, 其用於將該清洗氣體流分配至該內部空間 8 中。

15. 一種基板容器，其包括：

一殼體6，其界定一內部空間8，該殼體包含一前開口12、一第一側壁14、一第二側壁16、一後壁18及一底壁22，該底壁包含沿該殼體之該前開口在該第一側壁14與該第二側壁16之間延伸之一前邊緣24A；

一歧管基底560，其設置於該殼體上，該歧管基底具有經組態以接收一清洗氣體流之一入口505；

及至少一擴散器550A、550B，其與該歧管基底連通，以用於將該清洗氣體流分配至該殼體之該內部空間中。

中華民國發明I830642號專利家族的外國對應案審查進度

除了已經核准的中華民國TW I830642號專利，該專利家族中還有2件US專利申請案、2件TW專利申請案，與1件WO專利申請案審查中。

於此專利家族中，外國對應申請案審查進度：

1. WO2023076286A1申請案，EPO受理局於2023年3月2日發出檢索報告，其中列出評定為會影響申請案新穎性或進步性的X、Y等級前案證據有2件 -- KR20210055483A、US20210280446A1。

2. US20230128154A1申請案：美國專利審查委員尚未發出任何審查意見，故還沒有US審查委員檢索所得的前案證據可供參考。但另一方面，英特格為善盡申請人義務，提出兩份資訊揭露聲明 (Information Disclosure Statement)，分別呈報WO '286 申請案和TW '642申請案審查過程的檢索報告。

其中US20210280446A1是英特格較早提出的申請案，於2021年9月9日公開，略早於TWI830642的優先權日2021年10月27日。該US '446公開案摘要描述：具有進氣口及氣體分配表面的歧管的殼體，氣體分配表面經構形以將淨化氣體分配至基板容器的內部空間中… 等功效。

惟智財局專利審查委員當初審查時，可能並未參考WO '286申請案的2023年檢索報告，也未參考US '154申請案審查紀錄中英特格呈報的先前技術資訊，故智財局專利審查委員似乎沒考慮到此US '446前案。(2066字；圖11)

參考資料：
英特格再告侵權索賠3000萬家登：委請法律顧問處理。聯合新聞網，2024/05/15。

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