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家登光罩盒訴訟演出逆轉勝:從賠償9億多元扭轉將系爭專利無效

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科技產業資訊室 (iKnow) - Bond 發表於 2020年6月18日

圖、 家登光罩盒訴訟演出逆轉勝:從賠償9億多元扭轉將系爭專利無效

 
光罩盒訴訟大逆轉,家登是我國光罩盒廠商也是台積電供應商,拆彈成功順利打掉美國英特格的專利,因而翻轉從賠償9億多元扭轉將系爭專利無效。
 
關於,本案可參考本網站先前文章「晶圓光罩載具美商Entegris勝訴,家登須賠9.78億」報導,英特格(Entegris)於2015年控告家登(Gudeng Precision )所製造販售的光罩傳送盒(Reticle SMIF Pod)侵害其所擁有的中華民國I317967「光罩載具及支撐光罩之方法」專利。於2019年3月,智慧財產法院一審判決家登相關產品構成專利侵權,需賠償相關被控產品於民國98年至107年間銷售額6.5億餘元的1.5倍、即9.78億餘元[參考1] [參考2]
 
當時在智慧財產法院作出一審判決1個月內,家登公司積極透過賣地、賣股、借錢、並質押廠房和專利給台積電後而獲得台積電提供約4億元「預付貨款」後,家登公司湊足9億7千多萬元資金供擔保。如此讓家登能在全案定讞之前,仍能維持正常營運,而台積電也能持續自家登購買半導體製程黃光區製程所需的光罩傳送盒[參考3]
 
於2020年4月29日,智慧財產局針對家登所提出的第六件N06專利舉發案作出舉發審定[參考4],智慧財產局認為中華民國I317967專利請求項1、3、4、6、7、9、10、12、13、17不具進步性;亦即前述智慧財產法院一審判決家登產品構成侵權的所有請求項均被宣告無效,至此家登成功演出一場逆轉勝!
 
中華民國I317967專利第1項請求項與實施例圖示比對說明
 
如 '967專利先前技術段落所述,此專利所欲解決的先前技術問題是:「以手動方式將光罩定位在支承表面上者,可能無法將光罩放置在適當位置以便與限制部件嚙合... 限制部件可能會嚙合在其表面上、而非嚙合其邊緣,如此將導致光罩產生刮傷或其他物理損壞」。此專利揭櫫的新穎技術手段是:「某種結構或裝置,其可確保光罩載具中光罩本身之適當定位以防止與限制部件嚙合期間之損壞」。
 
表一係將此 '967專利請求項1與實施例圖示比對說明:
(1)如表一中段所列限制條件「蓋部140」與對應圖4~5所示,光罩載具的蓋部140內表面具有一對光罩定位凸片150,且此對光罩定位凸片150各別具有斜角邊緣部152。
(2)如表一末段所列限制條件「當蓋部140與基部120配合時」與對應圖8~10所示,當蓋部140朝向基部120闔上時,斜角邊緣部152方向係可橫向滑動迫使光罩200與光罩限制器142嚙合(例如:斜角邊緣部152會朝光罩200的隅角210移動,進而推動光罩200依據筆者註記藍色箭頭方向移動,而使光罩隅角210與光罩限制器142的凹口160嚙合);且此時光罩定位凸片150係被定位成與光罩中間相鄰隅角210嚙合(例如:光罩定位凸片150的斜角邊緣部152抵接於隅角210)。
 
如此 '967專利藉由上述斜角邊緣部152可橫向推動光罩200移動,進而使光罩與光罩限制器嚙合的設計,允許半導體廠作業員無需精確地放置光罩於光罩支架上,允許較大的誤差容許度;同時減少光罩限制器損壞光罩表面的機會。

表一、中華民國I317967專利第1項請求項與實施例圖示比對說明
TW-I317967 實施例圖示
1. 一種光罩載具,用於承載光微影半導體製程中所使用的光罩200,該光罩通常係平面的,具有相對的上表面及下表面以及四個隅角,該載具包括:

一基部120,具有至少一對相間隔的光罩支架122,當光罩200置於光罩支架122上時,該光罩支架被定位且適於接觸及支撐光罩之下表面,該光罩係可在其上橫向滑動;及


一蓋部140,用於緊密配合該基部120,該蓋部140具有一內表面,其上突設有複數個相間隔之光罩限制器142及一對光罩定位凸片150,各該光罩定位凸片150具有一斜角邊緣部152,
當該蓋部140與該基部120配合時,該斜角邊緣部152之方向係可橫向滑動 (**筆者註記藍色箭頭) 迫使該光罩200與該光罩限制器142-160嚙合,該光罩定位凸片150係被定位成與該光罩之光罩中間相鄰隅角210嚙合。   

 
中華民國 I317967專利第1項請求項與第六件舉發案引用前案日本JP-H0817906A比對
 
如下表二專利案件狀態所示,中華民國 I317967專利共收到六件舉發案,其中第1~4件舉發案不成立,第5件舉發案撤回而結案;而於2019年3月,智慧財產法院作出一審判決後,家登提出第6件舉發案。於2020年4月29日,智慧財產局依據第6件舉發案中所列證據2 - 日本專利申請公開案JP-H0817906A,裁定此 '967專利請求項1、3、4、6、7、9、10、12、13、17不具進步性。

表二、中華民國 I317967專利案件狀態

以下以表三將此 '967專利第1項請求項與第六件舉發案引用證據2 - 日本JP-H0817906A專利公開案比對,以說明N06舉發審定書認定的元件對應關係。
 
表三、N06專利舉發審定書所載I317967專利第1項請求項與日本JP-H0817906A對應關係
TW-I317967 舉發審定書爭點判斷 –
證據2 JP-H0817906A
1. 一種光罩載具,用於承載光微影半導體製程中所使用的光罩,該光罩通常係平面的,具有相對的上表面及下表面以及四個隅角,該載具包括: 第1~6 圖揭露一種基板15收納容器,
一基部,具有至少一對相間隔的光罩支架,當光罩置於光罩支架上時,該光罩支架被定位且適於接觸及支撐光罩之下表面,該光罩係可在其上橫向滑動;及 容器本體1具有4個墊塊16~19,墊塊16~19上設置支持銷16a~19a,另墊塊16、17上分別設置擋止接腳16b、17b,墊塊18、19上分別設置立板20、21,基板15下表面由支持銷16a、17a、18a、19a支持而收納於容器內,並在突起部24、25及立板20、21間而收納。
 
擋止接腳16b、17b和立板20、21之高度高於基板15上表面,用於防止基板15自容器本體1滑出。

雖然 '967 專利實施例為前後大幅滑動(**筆者註記藍色箭頭),而證據2為左右小幅移動(**筆者註記紅色箭頭),但 '967 專利請求項未對「橫向滑動」一詞有具體限制條件,故不能將 '967 專利實施例不當讀入請求項。
一蓋部2,用於緊密配合該基部1,該蓋部2具有一內表面,其上突設有複數個相間隔之光罩限制器24b、25b及

一對光罩定位凸片24、25,各該光罩定位凸片24、25具有一斜角邊緣部24a、25a,
上蓋2的前方設有前門3可旋轉形成掀開閉合狀態,前門3內側設有二個突起部24、25。

突起部24、25形成有自上方按壓基板15之角的面24b、25b,基板15藉由突起部24、25而被按壓向容器的內部方向,可抑制基板15自支持銷16a、17a上浮起,該可抑制基板之面24b、25b相當於 '967 專利請求項1之「光罩限制器」。

突起部24、25上形成有與基板導角的角度相對應的傾斜面24a、25a,該傾斜面24a、25a相當於 '967 專利請求項1之「該光罩定位凸片具有一斜角邊緣部」。
當該蓋部2與該基部1配合時,該斜角邊緣部24a、25a之方向係可橫向滑動迫使該光罩15與該光罩限制器24b、25b嚙合,該光罩定位凸片24、25係被定位成與該光罩之光罩中間相鄰隅角嚙合。 第 [0002] 段揭露前門3閉合時,基板15由突起部24、25之傾斜面24a、25a導引向容器寬度方向的中央位置靠攏而定位(橫向位移)(**筆者註記紅色箭頭),再以突起部24、25之可抑制基板之面24b、25b固定接觸(嚙合)基板15;相當於 '967 專利請求項1之「當該蓋部與該基部配合時,該斜角邊緣部之方向係可橫向滑動迫使該光罩與該光罩限制器嚙合,該光罩定位凸片係被定位成與該光罩之光罩中間相鄰隅角嚙合」。

 
 
依據上述元件對應關係,審查委員認為:「證據2之傾斜面24a、25a及可抑制基板之面24b、25b於『當前門3閉合時』亦可達到允許光罩橫向滑動使放置誤差被修正並被認定嚙合之功效,即與 '967 專利請求項1之光罩定位凸片、光罩限制器及其相關技術特徵,達成之效果實質相同,雖然證據2之傾斜面24a、25a及可抑制基板之面24b、25b同屬突起部24、25構件上之不同面,此與 '967 專利請求項1之光罩限制器及光罩定位凸片分屬不同構件之構成方式有別,但就實質作用及達成的功效並無不同,所屬技術領域具有通常知識者為因應光罩載具之空間布置及與其他構件之作動關係,將習知單一構件置換為兩構件予以達成相同效果之技術手段,誠屬簡單變更」,故證據2足以證明 '967 專利請求項1不具進步性。
 
N06專利舉發審定書處分除了認定上述請求項1不具進步性外,同時也認為證據2足以證明 '967 專利請求項3、4、6、7、9、10、12、13、17不具進步性,因為:
(1)另外兩個獨立請求項6、12記載內容與請求項1實質相同,且未如請求項1界定「斜角邊緣部」及「光罩定位凸片與光罩中間相鄰隅角嚙合」;筆者認為實質範圍似乎比請求項1還更廣泛。
(2)審查委員認為證據2也同時揭露:請求項3、9所記載的可將蓋部鎖固至基部的閂鎖機構,請求項4、10、17記載的自基部向上突出的肋條,與請求項7、13記載的斜角邊緣部方向係可與光罩的上邊緣嚙合... 等等附屬項的細部結構特徵。
 
結語
 
(1)攸關家登本身是否能永續經營,甚至稍有不甚將影響台積電的晶圓廠運作。家登公司於智慧財產法院作出一審判決後,肯定未就此放棄抗辯,積極地以訴訟階段未考慮的新前案證據日本JP-H0817906A專利公開案來提出第6件舉發案,始能說服審查委員而能力挽狂瀾獲得此一重大逆轉勝。 

(2)於專利訴訟階段,檢索攻擊被控侵權專利欠缺有效性的前案證據時,不僅要求前案證據品質,同時也需講究速度。於此家登案一審判決中,便記載於2017年5月,家登曾提出若干美國與中華民國專利等作為用以攻擊被控侵權專利欠缺有效性的新證據;但法院認為這些追加提出的新證據,為已公告之專利,被告並無正當理由不能於有效性辯論程序中提出,被告逾時提出攻擊防禦方法,有礙訴訟之終結,故最後不受理而予以駁回。 

(3)於專利訴訟階段,若被告遲遲無法檢索獲致有利前案證據時,部分律師有時會建議針對被控侵權專利所屬專利分類號進行全檢,如此事務所不輸入任何關鍵字進行篩選,直接針對相同UPC、CPC或IPC+F-term分類下的所有專利全面地毯性閱讀,確保沒有遺漏任何重要前案證據。事務所一般會事先提供進行相關檢索分析的估價,例如若某個被控侵權專利所屬日本專利分類F-term下約有1000篇日本專利公開案時,日本事務所便據此預估研讀此1000篇日本專利公開案、出具近似前案證據報告費用。 

(4)中華民國I317967專利家族目前有兩件對應美國核准專利,兩者預期都會在2022年失效。另一方面,依據報導所揭露目前台積電赴美設廠的計畫時程,台積電美國晶圓廠預計自2024年開始量產,因此,家登光罩傳送盒產品屆時若銷售供應到台積電美國廠區時,應當將不會再受到此 '967專利家族威脅。(3973字;圖1) 

 
參考資料:
[參考1] 智慧財產法院 104 年度 民專訴 字第 36 號民事判決。
[參考2] 智慧財產法院104年度民專訴字第36號第一審判決新聞稿, 2019 Mar. 22。
[參考3] 台灣科技業最大懸案》為何台積電要輸血10億給這家中小企業?, 天下雜誌,2020 May 14。
[參考4] 92118184N06-舉發審定書


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