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晶圓自動揀取方法專利訴訟 Palomar控告MRSI封裝設備侵權

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科技產業資訊室 (iKnow) - SYL 發表於 2015年7月27日
2015年7月6日,營運總部設於美國加州的半導體封裝設備廠Palomar Technologies, Inc.公司(下稱Palomar),向美國加州南區聯邦地院提起專利侵權告訴,控告營運總部設在美國麻薩諸塞州的競爭對手MRSI Systems, LLC公司 (下稱MRSI),所製造販賣之自動化高精密封裝點膠工具,包括但不限於型號為MRSI-M3 Assembly Work Cell的半導體封裝設備,直接、誘使與侵害了Palomar所擁有之系爭專利權利。
 
本案系爭專利為美國專利編號US 6,776,327,名稱為「使用兩次取放之高準確度放置方法(High-accuracy placement method utilizing double pick and place)」,於2004年8月17日核發,發明人為Zeger Bok、John Brajkovich與Jay L. Smith, II。系爭專利所描述的方法是,使用兩次取放技術來將第一工作件(workpiece)放置在第二工作件上的方法。
 
Palomar在其訴狀中主張,被控侵權的MRSI-M3 Assembly Work Cell是使用兩次取放晶圓之方法來達到高精密置放的自動化封裝設備,而其構成侵害系爭專利權利之製程方法如下:使用一揀取工具(pick tool)從疊片包裝(Waffle pack)、膠體包裝(Gel-Pak)、晶圓(wafer)或捲帶(tape and reel)等揀取晶粒(die,該晶粒即為系爭專利所指涉的「第一工作件」),並將該晶粒從原始位置移動至一中介位置並將之放置在一真空表面上;而後揀取工具放開該晶粒,此時系統會使用圖型識別(pattern recognition)來取得該晶粒的座標;揀取工具再度揀取該晶粒並將該晶粒移動至位在電路本體(為系爭專利所指涉的「第二工作件」)上的實際黏著位置。
 
Palomar的前身為生產飛行器、直升機、飛彈等軍用設備的美國Hughes Aircraft Company公司(下稱Hughes Aircraft),而Hughes Aircraft的科技產品部門(Technology Products Division,主要生產自動化黏晶與打線設備)在1995年被出售後成為Palomar這家公司。
 
MRSI則是在1984年創設於美國麻薩諸塞州,主要供應用於製造複雜微機電裝置的全自動、高精密封裝點膠工具。(852字;表2)
 
表一、請求項解析
US 6,776,327 請求項1
1. A method for placement of a first workpiece onto a second workpiece comprising the steps of:
 一種用來將第一工作件放置到第二工作件上的方法,包括以下步驟
a) providing a first workpiece positioned at an origination location different from a target intermediate location;
 a) 提供第一工作件,其位在不同於目標中介位置的原始位置
b) providing a second workpiece positioned at a work location and having a target attach location different from said target intermediate location and said origination location;
 b) 提供第二工作件,其位在工作位置並具備不同於前述目標中介位置與前述原始位置的目標黏著位置
c) performing a first place step to displace said first workpiece from said origination location to an actual intermediate location, wherein said actual intermediate location is different from said origination location and is identical to said target intermediate location or differs from said target intermediate location by an intermediate error deviation; and
 c) 執行第一放置步驟,將前述第一工作件從前述原始位置移到實際中介位置,其中前述實際中介位置不同於前述原始位置,並等同於前述目標中介位置或與前述目標中介位置有中介誤差偏差之差異
d) performing a second place step to displace said first workpiece from said actual intermediate location to an actual attach location on said second workpiece, wherein said actual attach location is different from said origination location and said target intermediate location and is identical to said target attach location or differs from said target attach location by an attach error deviation.
 d) 執行第二放置步驟,將前述第一工作件從前述實際中介位置移到前述第二工作件上的實際黏著位置,其中前述實際黏著位置不同於前述原始位置與前述目標中介位置,並等同於前述目標黏著位置或與前述目標黏著位置有黏著誤差偏差之差異
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Source: 科技政策研究與資訊中心—科技產業資訊室整理,2015/07
 
表二、專利訴訟案件基本資料:Palomar控告MRSI
訴訟名稱 Palomar Technologies, Inc. v. MRSI Systems, LLC
提告日期 2015年7月6日
原告 Palomar Technologies, Inc.
被告 MRSI Systems, LLC
案號 3:15-cv-01484-JLS-KSC
訴訟法院 the U.S. District Court for the Southern District of California
系爭專利 US 6,776,327
系爭服務 MRSI所製造販賣的自動化高精密封裝點膠工具,包括但不限於MRSI-M3 Assembly Work Cell,
http://www.mrsisystems.com/products/mrsi-m3/ (最後瀏覽日:2015/07/23)
訴狀下載 download.gif
Source: 科技政策研究與資訊中心—科技產業資訊室整理,2015/07
 
 
 
 
 
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