半導體製程設備專利訴訟 OEM Group控告ClassOne、Siconnex

2013年11月22日，總部位於亞利桑那州的OEM Group Inc.(下稱OEM)向亞利桑那州聯邦地方法院鳳凰城分院(District Court of ArizonaPhoenix Division Office)控告總部位於喬治亞州的ClassOne Equipment Incorporated(下稱ClassOne)侵權，認為ClassOne侵犯OEM所有之四項專利。本案系爭專利分別為美國專利US6,334,453、US 6,408,863、US 6,536,450及US 6,736,150，本案系爭專利都是原告OEM於2013年9月25日經由應材(Applied Materials, Inc.)轉讓取得專利權，原始專利權人是Semitool Inc.。

OEM是半導體設備製造商且提供LED、MEMS、無線、電源、能量收集(energy harvesting)、晶圓級構裝(wafer level package, WLP)、邏輯與儲存裝置等製程設備，於訴狀中提出ClassOne生產製造的Semitool Spray Solvent Tool及其他產品與服務侵害本案四項系爭專利。系爭產品是半導體製程設備，主要用於晶圓清洗的溶劑製程，包含聚合物移除、光阻剝除(Resist Stripping)、金屬光阻(Metal Lift-Off)等。

本案第’453號系爭專利有33個權利項，其中有3個獨立項；'863號專利有10個權利項，其中有3個獨立項，前述兩項系爭專利名稱為「具有馬達驅動微電子工作處理系統的密封裝置(Seal configuration for use with a motor drive assembly in a microelectronic workpiece processing system)」，其中workpiece在’863號專利寫成workpiece；’450號專利有9個權利項，其中有2個獨立項；’150號專利有11個權利項，其中有3個獨立項，前述兩項系爭專利名稱為「用於處理半導體材料之流體加熱系統(Fluid heating system for processing semiconductor materials)」。

OEM於訴狀中表示，ClassOne除有35 U.S.C. §271侵權行為外，還主張其蓄意侵害OEM之專利權，使本案為35 U.S.C. §285規範之例外情況(the case is exceptional)，包含故意侵權、欺詐或不正當行為、違反職業道德的行為、在訴訟過程中有不合常理之行為或不合理的訴訟等，故OEM請求法院判處ClassOne支付OEM合理的律師費，並請求依據35 U.S.C. §284加重損害賠償。

另OEM於本案提告同一日對Siconnex在亞利桑那州聯邦地方法院鳳凰城分院提起訴訟(案號2:13-cv-02410-DGC)，系爭專利共12件，詳如表三所示，除了三件專利案US 6,408,535、US 6,062,239、US 6,622,398在截稿日前於USPTO轉讓資料庫查無資料外，其餘9件都是2013年9月25日從應材轉讓而來。同樣地，OEM在取得轉讓專利權的當天，也對SEMSYSCO提起訴訟(案號2:13-cv-01960-SPL)，四件系爭專利也都是應材轉讓的。因OEM本身為製造商，有實質實施專利的行為，與單純主張專利權的PAE不同，但其透過大批轉讓專利，旋即興訟的做法值得注意。(1130字；表3)

表一、本案系爭專利：US 6,334,453

Seal configuration for use with a motor drive assembly in a microelectronic workpiece processing system
公告號	US 6,334,453
出版類型	授權
申請書編號	US 09/503,784
發佈日期	2002年1月1日
申請日期	2000年2月14日
優先權日期	2000年2月14日
其他專利公開號	無
發明人	Raymon F. Thompson, Scott Bruner
原專利權人	Semitool, Inc.
Seal configuration for use with a motor drive assembly in a microelectronic work piece processing
公告號	US 6,408,863
出版類型	授權
申請書編號	US 09/610,175
發佈日期	2002年6月25日
申請日期	2000年7月5日
優先權日期	1997年7月21日
其他專利公開號	CN1267243A, EP0998358A1, EP0998358A4, US6098641, WO1999003608A1
發明人	AleksanderOwczarz
原專利權人	Semitool, Inc.
Fluid heating system for processing semiconductor materials
公告號	US 6,536,450
出版類型	授權
申請書編號	US 09/372,849
發佈日期	2003年2月25日
申請日期	1999年8月12日
優先權日期	1998年7月7日
其他專利公開號	無
發明人	KertDolechek
原專利權人	Semitool, Inc.
Fluid heating system for processing semiconductor materials
公告號	US 6,736,150
出版類型	授權
申請書編號	US 10/359,844
發佈日期	2004年5月18日
申請日期	2003年2月6日
優先權日期	1999年7月6日
其他專利公開號	US20030116180, WO2001002108A1, WO2001002108A9
發明人	KertDolechek
原專利權人	Semitool, Inc.

Source: 科技政策研究與資訊中心 — 科技產業資訊室整理，2013/12

表二、專利訴訟案件基本資料：OEM Group Incorporated v. ClassOne Equipment Incorporated

訴訟名稱	OEM Group Incorporated v. ClassOne Equipment Incorporated
提告日期	2013年11月22日
原告	OEM Group Incorporated
被告	ClassOne Equipment Incorporated
案號	2:2013cv02409
訴訟法院	Arizona District Court
系爭專利	US 6,334,453，US 6,408,863:，US 6,536,450，US 6,736,150
系爭產品	Semitool Spray Solvent Tool
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Source: 科技政策研究與資訊中心 — 科技產業資訊室整理，2013/12

表三、OEM於2013年11月22日對Siconnex提訟之系爭專利

Source: 科技政策研究與資訊中心 — 科技產業資訊室整理，2013/12