日本一家EUV測試機廠商受到晶圓三雄追捧
科技產業資訊室 (iKnow) - Lisa 發表於 2020年6月3日
圖、日本一家EUV測試機廠商受到晶圓三雄追捧
Lasertec是全球唯一一家EUV製造生產晶片之測試機公司。2017年時，Lasertec設計了一台可以檢測空白EUV光罩內部缺陷的機器，2019年9月則是開發出了可以檢測已印有晶片設計模組的機器。
三星和台積電皆已向Lasertec訂購EUV的測試機，英特爾則是拒絕說明是否有向Lasertec訂購EUV機材。因為技術難度及成本之高，三星、台積電、英特爾為目前唯三家採用EUV技術的晶圓廠，當然可解讀為Lasertec的機器也是英特爾EUV計畫不可或缺的一部份。
- 三星在2020年5月初宣布將新建5奈米廠，採用EUV技術，預計2021年下半年開始生產5G、高效能運算等處理晶片。
- 台積電則是超前部署，預計2022年開始大量生產3奈米晶片，並宣布在美國設新廠。
- 英特爾則是將在明年(2021)末推出第一代採用EUV技術的晶片。
主要專注於邏輯處理器，應用於電源及網路，但是新的技術將逐漸被DRAM及其他記憶體晶片製造採用。也就是說，邏輯晶片製造商會優先採用EUV，隨之為記憶體製造商。所以，EUV機器的實際訂單會在進入大量生產階段後明朗化。現在是7奈米和5奈米晶片，而3奈米進入研發階段。
Lasertec預估每個客戶會需要多台測試機。每台機器成本超過4000萬美金且耗時兩年建造。晶片製造商至少須要兩台，一台測試機在光罩部門來確認模具正確，另一台則在晶圓廠，藉由集中光反復檢查晶片設計模板投射而導致的細微磨損。
下世代新興晶片需求太大了，搭配EUV進行晶片測試機市場的潛力也不小，後續仍看好Lasertec有機會帶來更多驚喜成長。(615字；圖1)
參考資料：
Japan’s Hottest Stock Is Tiny Maker of $40 Million Chip Machines. Bloomberg, 2020/5/25.
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