ASML表示不需美國批准 DUV微影機可賣給中國
科技產業資訊室 (iKnow) - 何思穎、張小玫 發表於 2020年10月23日
圖、ASML表示不需美國批准 DUV微影機可賣給中國
美國對高科技設備管制進入中國，微影機台（lithography machine）是晶片製造的核心設備，該市場由荷商ASML、日商Nikon和Canon三雄割據，其中又以ASML擁有最先進的EUV微影機技術。據報導，ASML微影機的市佔率高達89%，其餘的兩家分別為8%和3%，總計僅11%。目前，最先進的EUV微影機市場由ASML獨家供應。近日報導指稱，ASML可能出口微影機給中國業者。
一台微影機由成千上萬的零件組成，每台微影機的價格可能高達一億美元以上。目前微影機主要分為DUV微影機(deep ultraviolet)和EUV微影機(extreme ultraviolet)。其中以EUV微影機的技術最先進，可突破5nm晶圓製程節點的重要工具。
ASML認為DUV微影機預期可出口到中國，主要原因有二：
1. 中國巨大的市場需求。根據中國海關總署的數據，今年(2020) 1至8月止，中國累計進口了價值3334.6億美元的積體電路，較去年同比增長22.5%。
2. 中國增加了對半導體產業的投資。微影製程已經突破到28nm，對阻止DUV微影機的出口限制中國市場，已經沒有太大意義。
但是，DUV微影機是無法生產14nm或更小的晶圓。（準確地說，液體浸潤式（liquid immersion）DUV在多次曝光後是可以生產7nm晶圓的，但良率低且不穩定），要突破14nm就要靠EUV微影設備。如果未進口EUV微影設備，則只能生產14nm或更大的晶圓。此外，生產晶片所需的材料仍受美國技術的牽制。沒有這些材料，也無法生產40nm以下的晶片。因此，中國晶片製造商中芯國際表示，如果完全不使用美國技術，他們目前只能生產40nm的晶片。
以下是ASML的CFO Roger Dassen接受媒體專訪內容，如下：
請概述ASML在2020年第三季表現如何？
- 首先是今年第三季收入達40億歐元，EUV出貨14台，其中10台EUV本第三季出貨，另外4個是第二季推遲到本季的訂單。其中，整機安裝數量（Installed Base）的收入為8.62億歐元。毛利率中位數47.5%。
- 第三季表現亮眼的原因，主要是EUV淨收入11億歐元。本季營收29億歐元，其中包括5.94億歐元的EUV總共4台。但這是淨預訂，因為這4部EUV將因節點轉換需求不同，而調整價格。(由此推估，一台EUV約1.5億美金。)
將在第四季交付第一台浸潤式系統（immersion system）NXT: 2050i。該系統具有更好的疊對控制（overlay control）和生產量，將為客戶帶來更多價值。即使在COVID-19疫情之下，ASML運營不受影響仍正常供應。
請問EUV最新進展的以及明年展望如何？
從邏輯（Logic）晶片的角度來看，EUV確實可幫助邏輯越來越多層。在記憶體方面，特別是EUV對DRAM製造助益越來越強。這確實是一個很好的進展。
EUV產能方面，ASML對週期的改進，在今年底之前，將週期縮減至20週，如此將EUV產能達到45至50部機台。
從EUV出貨量：到第三季為止，ASML總共出貨23台EUV；預估2020年整年，可能接近35台，預期EUV營收45億歐元。這是基於客戶工廠準備的問題以及節點轉換的延遲。至於明年(2021)，仍存在很多不確定因素，如基於地緣政治所發生的大環境變化，還有COVID-19疫情和未來經濟復甦的問題。所以，可能影響製程製造的節點轉換及既定時間表。儘管如此，ASML還是希望明年能看到2021年EUV收入增長20%。
EUV毛利率方面，就EUV機台及系統的全年銷售而言，其毛利率仍然很大可能性達到40%。這主要是通過降低成本並為客戶提高EUV價值而來，且達到在兩三年內，EUV毛利率將接近DUV。
展望2020年第四季和2020全年的看法
至於第四季，ASML預計收入為36至38億歐元，其中，記憶體的銷售部分更高。就毛利率而言，預計為50%。與過去幾個季相比，這是一個很好的成長。進一步預估2020年整年的實際銷售額至少達到了133億歐元，這跟我們年初估計的目標十分相符。在邏輯、記憶體和整機裝機量收入方面亦如此。雖然，今年大環境挑戰多，特別是在疫情影響之下，但在今年是可取得相當不錯的成績。
請問美中貿易戰，ASML是否受到美國對中芯國際SMIC的限制影響？
首先來談ASML在中國的業務。去年(2019)，ASML的中國本土客戶創造了約8億歐元的銷售額。今年(2020)預計會超過10億歐元，今年比較偏向邏輯晶片。至於客戶中芯國際是邏輯晶片的大客戶，但我們不會對特定的客戶進行評論。總體而言，ASML會盡力為客戶提供服務，但必須在法律和法規的要求範圍內。目前ASML能夠在沒有美國出口許可證的情況下，將荷蘭的DUV微影系統從荷蘭運送給這些中國客戶。但是，如果產品涉及直接從美國輸出的零件或系統，我們就需要為此申請出口許可證。
展望2021年，ASML期望將看到EUV銷售額增加20%。但成長的幅度顯然取決於未來許多不確定大環境因素。但大多數客戶認為，到今年年底，庫存問題（尤其是DRAM）可能會有法解決，預測2020第四季記憶體銷售額會成長，且持續到明年。在邏輯晶片方面，仍期望是一個健康市場，這取決於大環境變數，還有節點轉換的時間表是否有效率。至於，EUV整機安裝量：看起來很強勁，增長的幅度將取決於製程的升級情況。
由於，看好終端市場（AI、高性能運算以及5G相關）的發展趨勢，將可持續驅動半導體產業未來成長。(1800字；圖1)
參考資料：
ASML said It is possible to sell lithography machines in China without US approval, but…. Archyworldys, 2020/10/19.
Video Interview with ASML CFO Roger Dassen. ASML, 2020/10/14
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