台積電安裝EUV機佔全球總安機量之50%
科技產業資訊室 (iKnow) - 何思穎 發表於 2020年10月6日
圖、台積電佔產業EUV整機裝機量及晶圓產量的50%
據AnandTech報導所述，台積電現佔全球極紫外光微影（EUV）設備安裝量約50%。此外，台積電也聲稱累計EUV晶圓產量約佔全球的60%。
台積電的N7+製程首次使用EUV微影技術的節點，後續N7以下N5製程也依賴EUV技術。目前，除了台積電的N7+和N5外，三星的7LPP製程也使用EUV技術。
ASML是唯一生產和銷售EUV微影設備的公司。根據Cutress的估計，台積電已向ASML購買了30至35台設備。據估計，ASML今年(2020)已售出約70台，到2020年底可能售出90台。ASML預估今年(2020)EUV營收規模將達45億歐元創下新高，而全年EUV系統產能可達35台，由於生產周期時間有效減少，明年(2021)產能可達45～50台規模。(202字；圖1)
參考資料：
TSMC accounts for half of industry's EUV equipment installation base and wafer production. TECHSPOT, 2020/8/29.
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