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台積電安裝EUV機佔全球總安機量之50%

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科技產業資訊室 (iKnow) - 何思穎 發表於 2020年10月6日

圖、台積電佔產業EUV整機裝機量及晶圓產量的50%

據AnandTech報導所述,台積電現佔全球極紫外光微影(EUV)設備安裝量約50%。此外,台積電也聲稱累計EUV晶圓產量約佔全球的60%。
 
台積電的N7+製程首次使用EUV微影技術的節點,後續N7以下N5製程也依賴EUV技術。目前,除了台積電的N7+和N5外,三星的7LPP製程也使用EUV技術。
 
ASML是唯一生產和銷售EUV微影設備的公司。根據Cutress的估計,台積電已向ASML購買了30至35台設備。據估計,ASML今年(2020)已售出約70台,到2020年底可能售出90台。ASML預估今年(2020)EUV營收規模將達45億歐元創下新高,而全年EUV系統產能可達35台,由於生產周期時間有效減少,明年(2021)產能可達45~50台規模。(202字;圖1)
 
 
參考資料:
TSMC accounts for half of industry's EUV equipment installation base and wafer production. TECHSPOT, 2020/8/29. 


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