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南韓業者積極開發半導體關鍵材料

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科技產業資訊室 (iKnow) - May 發表於 2020年6月22日
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圖、南韓業者積極開發半導體關鍵材料
 
由於南韓半導體材料受制於日本政府加強出口限制,因此南韓政府更加要求對主要材料進行本地化投資。南韓一些專家警告,由於大型南韓半導體製造商缺乏對材料工業的投資,阻礙了生產半導體所需的關鍵材料的本地化。同時,政府的環境法規嚴格和大型南韓晶片製造商不願向材料公司提供技術支援,演變成半導體材料本地化不力的窘境。
 
過去,韓國皆是向日本進口半導體關鍵材料:高純度氟化氫及光阻劑,然而當日本在2019年對韓國實施出口限制時,韓國半導體公司便處於警戒狀態而無法順利生產。
 
其實,南韓政府啟動先進半導體10年開發計畫總計1兆韓元(約260億台幣),目標是推動下一代晶片技術本地化,策略性鼓勵開發AI半導體晶片用於主要行業、新型低功耗產品、及高性能設備。
 
然而,基於半導體行業對關鍵技術安全保護的敏感性,如何讓半導體晶片製造商或材料商願意與外部合作呢?目前,南韓半導體製造商正在思考通過股權投資來與個別公司合作,而不是提供技術支援。
 
例如,三星電子已經投資了Dongjin Semichem和SoulBrain等半導體材料公司,並正在與他們共同開發半導體關鍵材料:Dongjin Semichem生產光刻膠,而SoulBrain則提供蝕刻氣體(氟化氫)。目前,三星電子持有這兩家公司各自4.8%的股份。
 
SK 集團方面,SK Matereials在2020年6月7日宣布將開始大量生產半導體蝕刻使用、純度達99.999%的高純度氟化氫 (hydrogen fluoride),並在慶尚北道 (North Gyeongsang Province) 榮州廠建立了一個15頓的生產設施。SK Materials目標在2023年將本土產能提高到70%。
 
SK Materials也將投資400億韓元 (約9億台幣) 設立光阻劑的製造廠,SK Materials目前正在尋找適當的地點,預計在2021年前完成工廠的建設,並在2022年前達到每年50000加侖的產能。
 
SK Materials研發用於ArF曝光儀器的ArF光阻劑和保護圖案成型的硬質光罩。ArF光阻劑是一種高附加價值的產品,目前90%的市場需求仰賴進口。
 
2019年時SK Siltron收購了美國杜邦的碳化矽晶圓業務部門並開始本土生產,碳化矽(SiC)晶圓用於功率半導體,是電動車重要的一部份。碳化矽晶圓目前由少數幾家來自美國和歐洲的公司獨霸市場。
 
同時,SK集團也透過支持中小企業來強化其半導體生態系,成立了4000億韓元 (約97億台幣) 基金為其企業夥伴提供低利息的貸款,SK Materials在2019年時成立了一個「整合分析中心」研發設施並準備為中小企業提供分析服務。(811字;圖1)
 
 
參考資料:
SK Materials to Localize Photoresist Used for Semiconductor Lithography. Business Korea, 2020/6/18.
南韓半導體廠投資材料公司支持本地化。科技產業資訊室 (iKnow),2019/7/11。
南韓政府啟動先進半導體本土化10年研發經費約260億台幣。科技產業資訊室 (iKnow),2020/1/21。


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