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潔淨的二維材料轉移與半導體製造

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科技產業資訊室 - 黃松勳 發表於 2019年6月21日

圖、潔淨的二維材料轉移與半導體製造
 
半導體是電晶體、微處理器、雷射和LED的基本建構模組,自20世紀中期以來,它在計算、儲存器、通訊和照明技術方面取得了進步。近年來,二維材料的發現,具有許多最佳的特性與推進這些技術的潛力,但是要創造具有良好電接觸性和穩定性的二維元件是具有挑戰性的。
 
在Nature Electronics上期刊上報導,哥倫比亞工程公司的研究人員利用嵌入絕緣六方氮化硼(h-BN)中的金屬來做為轉移接觸點,並將接觸層乾式轉移到二維半導體上,以及在氮氣手套箱內保持原始狀態,防止過程中因直接金屬化引起損壞,同時提供封裝來保護元件。研究人員現在已經開發出一個穩定、可重複過程的平台,能夠進入到實際工程製造的設備。
 
研究人員表示,他們的方法不僅可以保護半導體層,使其性能不會隨著時間的推移而下降,而且還可生產高性能元件。高性能的二維元件發展需要半導體材料製造的進步,而更精確的工具將使更複雜的結構不但能夠被實現,且具有更強大的功能和性能。
 
該研究得到了美國國家科學基金會(NSF)的CAREER獎(ECCS-1752401)和超精密製造與超原子固體中心(DMR-1420634)的支持。這項工作還得到了韓國國家研究基金會通過全球研究實驗室(GRL)計劃(2016K1A1A2912707)和研究員計劃(2018R1A6A3A11045864)的支持。
(460字)



參考資料:
Ultra-clean fabrication platform produces nearly ideal 2D transistors. Science Daily,2019/5/17
Transferred via contacts as a platform for ideal two-dimensional transistors. Nature Electronics,2019/5/17


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