據Yole Developpement 剛出爐報告 World MEMS Capital Equipments and Materials Market,顯示全球微機電前端設備市場至2005年達4億美元。對應之前Micronews所發表MEMS 裝置矽 (Silicon part of the MEMS devices) 市場規模2002年36億美元,至2005年達5.7億美元。
從MEMS 供應鏈顯示,如圖一。前端設備市場2002 年是2.4億美元,2005 年將成長到4億元。MEMS 供應鏈的特性是材料和化學品的設備投資比前端設備投資市場更高,材料 (包括晶圓) 和化學品市場估計在 2002 年是10億元,2005 年達15億元。圖二是以不考慮二手貨儀器為假設基礎,2002年MEMS整體設備市場成長率有 30%,在 2005 年是 15%。從圖三MEMS設備的流動價值比率來看, MEMS設備市場會因製造廠關閉造成二手儀器流動而影響設備市場,以健全的半導體產業營運而言,設備的流動價值比率應該是在 20%到 30%的範圍,從圖分析得知,只有材料進入MEMS(Materials into MEMS)達到,設備進入MEMS(Equipment into MEMS)呈現出成長表示這是一個成長中的產業,材料進入MEMS呈現出衰退表示這是一個高附加價值微機電組件成長的產業。整體而言,顯示微機電是一個尚未成熟收割的工業,如圖 三。
未來增加投資在噴墨印表機噴頭(ink jet printer head : IJ)設備,從圖四2002-2006年MEMS前端設備投資市場,以產品種類來看,顯示IJ 噴頭、壓力感測器 (Pressure Sensors)、微機械加速感測器(Acceleration Sensors)、 陀螺儀(Gyroscopes) 等種類的設備投資市場呈現巨量成長。(本室整理 引自MicroNews no.24, Apr 2004)
圖 一: MEMS 供應鏈 (Source: Yole)

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圖 二: MEMS 前端和後端設備市場預測 2002-2005 (百萬美元) (Source: Yole)

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圖 三: MEMS MEMS設備的流動價值比率

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圖 四: 2002-2006年MEMS前端設備投資市場,以產品種類區分 (百萬美元)

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相關參考資料:
World MEMS Fab: an overview of the MEMS industry worldwide (by Yole, 2002)
利用標準CMOS工藝批量製造光微機電系統 (by EETChina.com, Sep 2003)
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