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晶圓光罩載具美商Entegris勝訴,家登須賠9.78億

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科技產業資訊室 - May 發表於 2019年3月25日

圖、晶圓光罩載具美商Entegris勝訴,家登須賠9.78億

我國家登(2019.3.25)公司公告,美國半導體晶圓及光罩載具供應商英特格公司(Entegris)所提專利侵權訴訟案,智慧財產法院於3月22日一審宣判家登應給付新台幣9億7887萬元,家登將提新證據考慮一審上訴。
 
英特格對家登提出的專利訴訟,主張家登所製造販售的Reticle SMIF Pod光罩傳送盒侵害其「光罩載具及支撐光罩之方法」專利技術特徵,台灣智慧財產法院22日一審判決家登須賠償此產品於民國98年至107年間銷售額6.5億餘元的1.5倍、即9.78億餘元。
 
本案始於Entegris於2015年來台向智慧財產法院對家登提起民事訴訟,控告家登侵害其專利權,求償金額1000萬元。後來,Entegris於2017年提請擴張求償金額至9.78億元,求償金額超過家登現有7.8億資本額。
 
家登於今年(2019)剛啟動極紫外光光罩盒(EUV Pod),出貨開始放量。家登稱,在全案定讞之前,家登將以新台幣9億7,887萬元供擔保後得免為假執行,因此不對公司營運造成任何影響。另外針對具有爭議性的產品部件,家登早已提出新的設計方案,並於各大客戶端進行認證完成,未來將以此新設計方案出貨,不影響客戶權益亦不影響家登今年預期營收狀況。
 
家登認為,英特格主張的專利在台灣有效,但在日本及大陸均無效。家登提出解釋,包括原告主張的「以斜角邊緣推動光罩到達定位」是業界習以為常的技術,根據專利法規定根本不應取得專利權。如1985年的日本專利及亞士帝將近20年前使用的光罩盒,均可證明該專利是業界早已熟悉的技術,有信心最終可以證明專利無效。
 
值得注意的事,英特格曾於2007年間以收購家登為由進行實地查核(DD),當時曾以書面承諾會將家登交付資料保密並銷毀。但卻在本案訴訟過程中,發現英特格仍向法院提出家登產品的照片等資料作為訴訟上的證據。家登稱,英特格事後挖走家登重要技術長和相關人員,對此家登不排除進行法律上必要行動。
 
由於,家登在中國半導體行業攻城掠地,而引來英特格提告。如今專利案敗訴,可能撼動台灣及大陸晶圓供應鏈的轉單。此案9.78億創下智財權法院判決半導體業者侵權賠償最高金額,也是歷來所有判決賠償金額第二高紀錄,僅次於飛利浦光碟片案10億權利金。更引市場關注的是,可能牽動台積電等晶圓代工大廠晶圓盒供應狀況,震撼業界。英特格和家登都是半導體晶圓盒重要供應商,也都是「台積電大同盟」成員,供應台積電晶圓廠使用的晶圓盒等關鍵設備。
 
另外,市場傳出英特格企圖藉專利戰勝訴之際,可能重啟收購家登並打壓收購價格,逼迫家登出售當紅的極紫外光(EUV)光罩傳送盒事業部門,吃下整個光罩傳送盒市場。因此,家登面臨生死關頭決定力拼,可能決定上訴並主動提出反訴。(896字;圖1)


參考資料:
公開資料觀測站,家登發布重大消息,2019/3/25。

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